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更新日期：2024-03-19
簡要描述：
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-708系列離子濺射設備，用于大型基材的全涂層濺射靶材的尺寸為1英寸，例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。在形成微通道流動路徑以及濺射薄膜制造時支持PDMS表面處理
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-708系列
特征
離子濺射設備，用于大型基材的全涂層
濺射靶材的尺寸為1英寸，例如4'/ 5'/ 6'/ 7'/ 8'。
在形成微通道流動路徑以及濺射薄膜制造時支持PDMS表面處理
配備涂布模式/蝕刻模式
應用/結果示例
各種設備的電極膜附件
反光膜的制造應用
樣品表面親水處理的應用（蝕刻模式）
PDMS表面處理應用程序（蝕刻模式）等
日本sanyu electron臺式快速涂布機SC-708系列
基本規(guī)格
| 陰極 | φ4-8英寸/ 2極電極 |
| 濺射電流 蝕刻電流 | 0-50mA（包括電流表） |
| 濺射電壓 蝕刻電壓 | 0.8 / 1.4kV |
| 氣體導入機制 | 針閥 |
| 真空泵 | 直連式旋轉泵：100l / min（有自動泄漏） |
| 箱體尺寸 | 內徑φ240mmx D240mm（SUS制） |
| 樣品交換方法 | 前門開合式 |
| 樣本量 | z大φ4?8英寸 |
| 尺寸（寬/深/高） | 主體：282/450 / 440mm RP：460/175 / 265mm |
| 重量 | 身體：約20kg RP：23kg |
